瀚天天成公司喜获发明专利


日前,厦门创新创业园孵化企业----瀚天天成电子科技(厦门)有限公司的一种用于密闭反应室的自净化系统(专利号:CN104645914B)获得国家发明专利。本发明应用于碳化硅外延生长的密闭反应室,能够快速有效的清理反应室腔体内的细小颗粒,提高生产效率。

该专利公开一种用于密闭反应室的自净化系统,密闭反应室包括一个主箱体,主箱体内开设上腔体和下腔体,上腔体与下腔体通过一隔板隔开,隔板上开设一通风孔;主箱体外侧开设送风口和抽风口;自净化系统包括控制箱、过滤箱、风机、送风法兰、抽风法兰和电控风阀;风机安装在隔板下沿并与通风孔对接,主箱体的上腔体顶部与下腔体底部均安装过滤箱;送风法兰安装在主箱体的送风口,抽风法兰内置一电控风阀,抽风法兰安装在主箱体的抽风口;控制箱安装在主箱体外部;风机和电控风阀均与变频控制器电连接。

瀚天天成电子科技(厦门)有限公司是一家集研发、生产、销售碳化硅半导体外延晶片的中美合资企业,引进国际最新型的碳化硅外延生产线和各种高端检测设备,并汇集了国内外碳化硅半导体领域技术专家,已获得ISO9001、ISO14001、OHSAS18001管理体系认证证书、“重点华侨华人创业团队”称号、2015年厦门农商银行杯小微企业创业创新大赛二等奖、“福建省引进高层次创业创新人才”等荣誉称号。(黄彬乐)

 

                             

日期:2018-03-28

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